8月24日晚間，A股半導(dǎo)體設(shè)備龍頭中微公司發(fā)布了半年報(bào)。根據(jù)半年報(bào)，2021年上半年，中微公司實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入13.39億元，同比增長(zhǎng)36.82%，實(shí)現(xiàn)歸屬于上市公司股東凈利潤(rùn)3.97億元，同比增長(zhǎng)233.17%。

研發(fā)人均月薪增到5.5萬(wàn)元

中微公司是國(guó)內(nèi)刻蝕機(jī)龍頭，刻蝕是芯片制造的一個(gè)重要工藝，指的是利用化學(xué)途徑選擇性地移除芯片表面或表面覆蓋的薄膜。2004年，公司董事長(zhǎng)尹志堯放棄美國(guó)百萬(wàn)年薪，帶領(lǐng)15人小團(tuán)隊(duì)回國(guó)創(chuàng)辦了中微。目前中微的設(shè)備已打入臺(tái)積電、中芯國(guó)際、意法半導(dǎo)體等制造和封測(cè)客戶。

2019年的招股書(shū)中，中微公司曾披露，因?yàn)殚_(kāi)發(fā)出了與美國(guó)設(shè)備公司具有同等質(zhì)量和相當(dāng)規(guī)格的等離子體刻蝕設(shè)備并實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，美國(guó)商務(wù)部在 2015 年宣布解除了對(duì)我國(guó)等離子體刻蝕設(shè)備多年的出口管制。

與業(yè)績(jī)提升相對(duì)應(yīng)的是，中微公司上半年加大了研發(fā)投入，開(kāi)支2.86億元，相較去年同期增長(zhǎng)38.1%。公司的研發(fā)人數(shù)也從去年同期的298人增加至348人。公司業(yè)績(jī)變好，員工也得到了加薪，半年報(bào)披露，研發(fā)人員平均薪資由去年同期的29.74萬(wàn)元增長(zhǎng)到33.17萬(wàn)元，平均月薪達(dá)到5.5萬(wàn)元。這個(gè)數(shù)字看著不錯(cuò)，但與剛剛發(fā)半年報(bào)的騰訊相比，還有差距。根據(jù)騰訊半年報(bào)，騰訊員工上半年人均月薪7.8萬(wàn)元。

研報(bào)披露已在進(jìn)軍3nm工藝

通常來(lái)說(shuō)，建設(shè)一座晶圓廠，70%的投資都主要用于購(gòu)買(mǎi)設(shè)備。刻蝕設(shè)備、光刻設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備是集成電路前道生產(chǎn)工藝中最重要的三類(lèi)，在不少先進(jìn)的晶圓廠，刻蝕設(shè)備在整體設(shè)備中的投資中能達(dá)到25%到30%，甚至在部分NAND閃存生產(chǎn)線上的投資接近50%。

中微公司稱(chēng)，目前CCP刻蝕機(jī)已在5nm器件上實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，并在5納米以下器件的試生產(chǎn)上實(shí)現(xiàn)了突破性的進(jìn)展。用于更小器件、厚度薄的軟材料的ICP刻蝕機(jī)則在高速發(fā)展階段。

目前，中微半導(dǎo)體的等離子體刻蝕設(shè)備已應(yīng)用在國(guó)際一線客戶從65nm到14nm、7nm和5nm及其他先進(jìn)的集成電路加工制造生產(chǎn)線及先進(jìn)封裝生產(chǎn)線。公司2021年上半年刻蝕設(shè)備收入為8.58億元，較去年同期增長(zhǎng)約83.79%，毛利率達(dá)到44.29%。

在研項(xiàng)目中披露，中微公司現(xiàn)在已經(jīng)在進(jìn)軍3nm工藝。目前已完成3nm刻蝕機(jī)Alpha原型機(jī)的設(shè)計(jì)、制造、測(cè)試及初步的工藝開(kāi)發(fā)和評(píng)估。

從刻蝕機(jī)起家后，中微的產(chǎn)品線逐步拓展到MOCVD（薄膜沉積設(shè)備）和VOC凈化設(shè)備領(lǐng)域。上半年MOCVD設(shè)備營(yíng)收2.19億元同比下降10.08%，但該項(xiàng)業(yè)務(wù)毛利率達(dá)到30.77%，較去年同期大幅提升。