半導體前道量測檢測設備研發商優睿譜完成近億元A輪融資，基石浦江領投

近日，優睿譜宣布完成近億元A輪融資，由基石浦江領投，渾璞投資、星河資本、中南創投、泓湖資本、杭州盟合、景寧靈岸等跟投。融資資金將用于新產品的研發及量產。

優睿譜是一家半導體前道量測檢測設備研發商，成立于2021年9月，公司位于上海張江高科技園區，致力于打造高品質的半導體前道量測設備，為填補中國半導體前道量測設備空白貢獻自己的力量。公司首臺半導體專用FTIR(傅立葉變換紅外光譜)測量設備Eos200已正式交付客戶。

FTIR是一款利用紅外光譜經傅里葉變換進而分析各種外延層厚度以及元素濃度的測量設備，可用于測量一代半導體（硅外延片）、二代半導體（砷化鎵、磷化銦襯底外延）、三代半導體（碳化硅、氮化鎵外延片）、分子束外延（MBE）等的外延層厚度、光刻膠厚度及CMP 拋光后的厚度，以及測定半導體制程各種元素濃度。長期以來，半導體FTIR市場被Nanometrics（現Onto innovation）、賽默飛等國際設備廠商所壟斷。

跟國外競品相比，Eos200是一款全自動測量設備，采用模塊化設計理念，在整機、核心部件、軟件等多個方面均進行了大幅創新設計，使得整機測量性能在達到國外競品同等水平的情況下，還大幅降低了客戶的使用及維護成本。尤其是，得益于卓越的供應鏈資源，優睿譜可大幅縮短設備交付周期。

優睿譜由長期從事半導體行業的海歸博士、國內優秀的半導體前道量測檢測設備技術團隊共同發起成立。團隊核心成員均長期深耕半導體前道量測檢測設備行業，在國內有深厚的產業背景、產業資源以及設備制造的產業鏈資源。

渾璞投資合伙人姜寅明表示：半導體量檢測設備被看作是半導體制程之眼，在芯片制造的良率管理中扮演著非常重要的角色。當前，半導體量檢測設備面臨著迫切的國產替代需求，優睿譜在較短時間內完成了多款量檢測產品的開發、推廣和驗證，充分反映出團隊的深厚技術積淀、廣闊人脈資源和強大市場能力。

中南創投合伙人王建暉表示：在半導體制造發展和制程工藝提升過程中，先進的量測設備必不可少，優睿譜正是順勢而生的一家優秀的半導體前道量測設備公司。憑借團隊深厚的研發能力、上下游供應鏈的資源整合能力、敏銳的市場洞察力以及客戶開拓和服務能力，優睿譜成立僅一年半，就推出多款填補國內空白的前道量測設備，并獲得多家知名客戶的訂單和認可。