近日，優(yōu)睿譜宣布完成近億元A輪融資，由基石浦江領(lǐng)投，渾璞投資、星河資本、中南創(chuàng)投、泓湖資本、杭州盟合、景寧靈岸等跟投。融資資金將用于新產(chǎn)品的研發(fā)及量產(chǎn)。

優(yōu)睿譜是一家半導(dǎo)體前道量測(cè)檢測(cè)設(shè)備研發(fā)商，成立于2021年9月，公司位于上海張江高科技園區(qū)，致力于打造高品質(zhì)的半導(dǎo)體前道量測(cè)設(shè)備，為填補(bǔ)中國(guó)半導(dǎo)體前道量測(cè)設(shè)備空白貢獻(xiàn)自己的力量。公司首臺(tái)半導(dǎo)體專用FTIR(傅立葉變換紅外光譜)測(cè)量設(shè)備Eos200已正式交付客戶。

FTIR是一款利用紅外光譜經(jīng)傅里葉變換進(jìn)而分析各種外延層厚度以及元素濃度的測(cè)量設(shè)備，可用于測(cè)量一代半導(dǎo)體（硅外延片）、二代半導(dǎo)體（砷化鎵、磷化銦襯底外延）、三代半導(dǎo)體（碳化硅、氮化鎵外延片）、分子束外延（MBE）等的外延層厚度、光刻膠厚度及CMP 拋光后的厚度，以及測(cè)定半導(dǎo)體制程各種元素濃度。長(zhǎng)期以來，半導(dǎo)體FTIR市場(chǎng)被Nanometrics（現(xiàn)Onto innovation）、賽默飛等國(guó)際設(shè)備廠商所壟斷。

跟國(guó)外競(jìng)品相比，Eos200是一款全自動(dòng)測(cè)量設(shè)備，采用模塊化設(shè)計(jì)理念，在整機(jī)、核心部件、軟件等多個(gè)方面均進(jìn)行了大幅創(chuàng)新設(shè)計(jì)，使得整機(jī)測(cè)量性能在達(dá)到國(guó)外競(jìng)品同等水平的情況下，還大幅降低了客戶的使用及維護(hù)成本。尤其是，得益于卓越的供應(yīng)鏈資源，優(yōu)睿譜可大幅縮短設(shè)備交付周期。

優(yōu)睿譜由長(zhǎng)期從事半導(dǎo)體行業(yè)的海歸博士、國(guó)內(nèi)優(yōu)秀的半導(dǎo)體前道量測(cè)檢測(cè)設(shè)備技術(shù)團(tuán)隊(duì)共同發(fā)起成立。團(tuán)隊(duì)核心成員均長(zhǎng)期深耕半導(dǎo)體前道量測(cè)檢測(cè)設(shè)備行業(yè)，在國(guó)內(nèi)有深厚的產(chǎn)業(yè)背景、產(chǎn)業(yè)資源以及設(shè)備制造的產(chǎn)業(yè)鏈資源。

渾璞投資合伙人姜寅明表示：半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備被看作是半導(dǎo)體制程之眼，在芯片制造的良率管理中扮演著非常重要的角色。當(dāng)前，半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備面臨著迫切的國(guó)產(chǎn)替代需求，優(yōu)睿譜在較短時(shí)間內(nèi)完成了多款量檢測(cè)產(chǎn)品的開發(fā)、推廣和驗(yàn)證，充分反映出團(tuán)隊(duì)的深厚技術(shù)積淀、廣闊人脈資源和強(qiáng)大市場(chǎng)能力。

中南創(chuàng)投合伙人王建暉表示：在半導(dǎo)體制造發(fā)展和制程工藝提升過程中，先進(jìn)的量測(cè)設(shè)備必不可少，優(yōu)睿譜正是順勢(shì)而生的一家優(yōu)秀的半導(dǎo)體前道量測(cè)設(shè)備公司。憑借團(tuán)隊(duì)深厚的研發(fā)能力、上下游供應(yīng)鏈的資源整合能力、敏銳的市場(chǎng)洞察力以及客戶開拓和服務(wù)能力，優(yōu)睿譜成立僅一年半，就推出多款填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白的前道量測(cè)設(shè)備，并獲得多家知名客戶的訂單和認(rèn)可。