芯源微宗潤福： 一條好漢、一個方向、一面旗幟，18載半導(dǎo)體路

芯源微董事長宗潤福

距離宗潤福單槍匹馬闖入芯片裝備行業(yè)，已經(jīng)過去18年。沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司（簡稱“芯源微”）也從“一條好漢、一個方向、一面旗幟”不斷發(fā)展壯大，成長為半導(dǎo)體裝備行業(yè)的領(lǐng)頭羊。回顧過去18載春秋，不僅是芯源微成長的縮影，也是中國芯片行業(yè)發(fā)展的歷史軌跡。

烏飛兔走、時光踏馬。2002年底，中國科學(xué)院沈陽自動化研究所（簡稱“沈自所”）發(fā)起創(chuàng)立了中韓合資的沈陽芯源先進半導(dǎo)體技術(shù)有限公司，時任沈自所科技處處長的宗潤福放棄了穩(wěn)定的職位，一個猛子扎到半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域，開啟了與光刻工序涂膠顯影設(shè)備的半生緣。

創(chuàng)業(yè)初期，國內(nèi)的半導(dǎo)體市場尚未開蒙，一窮二白的環(huán)境下，國產(chǎn)裝備應(yīng)用幾乎為零，僅有的幾條生產(chǎn)線采購設(shè)備全部依賴進口。諸如光刻工序涂膠顯影這類高端設(shè)備市場，完全掌握在日本東京電子 （TEL）、日本迪恩士（DNS）、德國蘇斯微（SUSS）等巨頭的手里，芯源微需要的核心部件和精密加工件全部需要進口，研發(fā)難度可想而知。

當(dāng)時，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備無論是性能、可靠性還是價格都無法與外國進口設(shè)備匹敵。芯源微前行的每一步，都是刀尖舔血、極為艱難。初期，只能依靠原始股東投資、政府項目支持和銀行貸款維持生計。

2010年前后，國內(nèi)LED市場進入快速發(fā)展階段，芯源微憑借多年積累，產(chǎn)品逐步走向成熟，產(chǎn)品性能反超進口設(shè)備，打破了國外壟斷，實現(xiàn)了進口替代，并開始與國際一流大公司同臺競爭。

時光流動中，中國半導(dǎo)體行業(yè)也已發(fā)生了天翻地覆的變化。數(shù)十年幾經(jīng)波折，宗潤福感慨萬千，境遇滄海桑田、已如天淵之別。

截至目前，芯源微產(chǎn)品累計銷售800余臺套，作為主流機型成功打入包括臺積電、長電科技、華天科技、通富微電、晶方科技、華燦光電、乾照光電、澳洋順昌、東莞中圖等在內(nèi)的多家國內(nèi)知名一線大廠，成為當(dāng)之無愧的國內(nèi)半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)細分市場的“隱形冠軍”。

2019年，多年蟄伏的芯源微終于登陸資本市場，數(shù)百人的研發(fā)團隊、多年的默默努力得以在更大的資本舞臺展現(xiàn)。不僅成為遼寧省科創(chuàng)板第一股、中國科學(xué)院（簡稱“中科院”）科創(chuàng)板第一股，更是中國半導(dǎo)體光刻設(shè)備上市第一股。

今年是芯源微的成年禮，再度回首往昔，過去種種少年心事，如今又是新一春。

以下為本刊對芯源微董事長宗潤福的采訪實錄：

生存到繁榮

少年心事當(dāng)拿云

本刊記者：從2002年算起，芯源微已經(jīng)走入第18年。18年來，有哪些戰(zhàn)略的變化，經(jīng)歷了哪幾個階段？

宗潤福：2002年12月17日，在渾南新區(qū)的大力支持下，沈自所發(fā)起創(chuàng)立了中韓合資的芯源微。

回望十八年的風(fēng)雨歷程，是芯源微人砥礪奮進的創(chuàng)業(yè)史。芯源微“初長成”的奮斗歷程大致可分為以下四個階段：

（1）生存階段（成立—2009年）：創(chuàng)業(yè)之初，舉步維艱。這個階段"戰(zhàn)略"似乎很遙遠，每天最需要考慮的是生存問題，生存是第一要務(wù)。

（2）起步階段（2009—2015年）：隨著LED及圓片級封裝市場形成及發(fā)展，芯源微步入起步階段，收入規(guī)模從1000萬提升至1億元。在國家科技重大專項的支持下，芯源微在LED及圓片級封裝領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)重大突破，產(chǎn)品逐漸趨于成熟，因此在LED及圓片級封裝領(lǐng)域市場形成之后，芯源微能快速抓住機遇，搶得先機，迅速壯大發(fā)展，靠產(chǎn)品打市場，憑實力贏得客戶認可。

（3）提高階段（2015—2020年）：企業(yè)要想得到長遠發(fā)展必須要扎扎實實修煉內(nèi)功，綜合提升內(nèi)功才能提升性價比、競爭力。公司發(fā)展到一定階段，面臨著新的客戶需求，為國際一流大客戶提供服務(wù)，與國際一流的大公司充分競爭，也是一個自我完善和提高的過程，通過這一階段的技術(shù)儲備和質(zhì)量提升，設(shè)備精細化程度、先進性及競爭力提升，用品質(zhì)打造品牌，靠品質(zhì)創(chuàng)造效益。企業(yè)進入了下一個階段，又迎來了一個高速發(fā)展期。

（4）高速發(fā)展階段（2020年）：2019年12月16日，芯源微在上交所科創(chuàng)板成功上市，搭上了快速發(fā)展的列車。上市后企業(yè)資金相對充裕，既要快速發(fā)展、多維發(fā)展，更要穩(wěn)扎穩(wěn)打、修煉內(nèi)功。未來的發(fā)展階段要憑企業(yè)綜合競爭力在更廣闊的市場、更激烈的競爭中贏得更長遠的發(fā)展。

本刊記者：成立初期，IC裝備領(lǐng)域并不成熟，仍處在行業(yè)探索階段，當(dāng)時市場環(huán)境是怎樣的？發(fā)展至今，行業(yè)環(huán)境有哪些變化？

宗潤福：芯源微成立于2002年，由沈自所發(fā)起創(chuàng)立。公司設(shè)立之初，無論是沈自所、中科院系統(tǒng)乃至國內(nèi)的半導(dǎo)體裝備幾乎是零基礎(chǔ)。芯源微與韓國公司合資合作，通過技術(shù)轉(zhuǎn)讓實現(xiàn)高起點產(chǎn)業(yè)發(fā)展，切入半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域并扎根其中。

首批員工赴韓國STL公司開展技術(shù)培訓(xùn)，充分借鑒韓國公司在集成電路涂膠顯影設(shè)備設(shè)計制造方面的技術(shù)和產(chǎn)品的優(yōu)勢，少走彎路，雖說雙方合作沒有預(yù)想那么順利，也沒有達到預(yù)期目標，但回望過去，公司設(shè)立初衷及取得的效果是值得肯定和慶幸的。

在引進技術(shù)基礎(chǔ)上，通過自主研發(fā)及消化吸收再創(chuàng)新，成功摸索出一條通往成功的有效路徑，并牢牢將發(fā)展的“引擎”掌握在自己手中，開發(fā)出了適應(yīng)LED領(lǐng)域低成本高產(chǎn)能要求、適應(yīng)圓片級封裝領(lǐng)域厚膠特征工藝要求的涂膠顯影設(shè)備，并抓住了LED及圓片級封裝領(lǐng)域發(fā)展機遇，成功打開國內(nèi)市場，開辟了芯源微生存發(fā)展之路。

創(chuàng)業(yè)之初，舉步維艱，國內(nèi)半導(dǎo)體市場尚未形成，國產(chǎn)裝備應(yīng)用幾乎為零，供應(yīng)鏈也要從零做起，為數(shù)不多的幾條生產(chǎn)線采購設(shè)備幾乎100%依賴進口。在國家科技部、北京市及上海市在刻蝕機和光刻機兩大核心裝備領(lǐng)域的戰(zhàn)略布局推動下，北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司、上海微電子裝備（集團）股份有限公司同期成立。中電45所、48所也在封裝類設(shè)備及離子注入機領(lǐng)域著手布局，芯源微成為當(dāng)期國內(nèi)為數(shù)不多的半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)之一。

由于國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備剛剛起步，國產(chǎn)設(shè)備無論是工藝性能、可靠性、符合度都與客戶需求存在很大差距，價格甚至無法與二手進口設(shè)備競爭。國產(chǎn)設(shè)備與國外進口設(shè)備相比缺乏競爭力，市場占有率為零，無法得到客戶認可。國產(chǎn)半導(dǎo)體裝備企業(yè)舉步維艱，生存環(huán)境惡劣。由于無法形成良性循環(huán)和造血能力，企業(yè)只能依靠初始股東投資、政府項目支持及銀行貸款維持生存，企業(yè)吸引人才的能力、團隊穩(wěn)定性、競爭力相對薄弱，公司可謂風(fēng)雨飄搖，企業(yè)生存十分不易。芯源微能夠生存在一定程度上得益于中科院無形資產(chǎn)、資源及影響力。這些資源也對芯源微的發(fā)展及融資提供了巨大的幫助。

2010年前后，恰逢國內(nèi)LED市場形成并快速發(fā)展，通過多年的技術(shù)積累以及承擔(dān)國家02重大專項，企業(yè)技術(shù)和產(chǎn)品得以長足進步，通過客戶端的應(yīng)用提高，產(chǎn)品趨于成熟，市場競爭力逐步提升。芯源微LED領(lǐng)域涂膠顯影設(shè)備同韓國、中國臺灣等行業(yè)龍頭企業(yè)同類產(chǎn)品相比，從最初工藝性能可靠性差，靠低價銷售夾縫求生，到后來與國際龍頭企業(yè)平起平坐，再到最后工藝性能、產(chǎn)能占地等設(shè)備綜合性能反超進口設(shè)備，甚至售價也略高于同類進口設(shè)備，但設(shè)備總體性價比更高，為客戶創(chuàng)造更高的價值，從而快速搶占國內(nèi)LED市場，打破國外壟斷，實現(xiàn)進口替代。芯源微以優(yōu)質(zhì)的服務(wù)、客制化的優(yōu)勢，贏得了客戶認可，建立了客戶忠誠度和品牌認可度。

中美貿(mào)易爭端之后，華為供應(yīng)鏈回歸，集成電路產(chǎn)業(yè)得到社會、政府、民間、資本等高度重視。扶持集成電路產(chǎn)業(yè)迅速發(fā)展，客戶端優(yōu)先評估和使用國產(chǎn)設(shè)備，壓力與動力同在。總體來說，目前集成電路行業(yè)環(huán)境與企業(yè)創(chuàng)立之初相比發(fā)生了巨大的變化，可謂是冰火兩重天，集成電路產(chǎn)業(yè)迎來最好的發(fā)展時期。

成長和路徑

國產(chǎn)芯的成人禮

本刊記者:在成長的路程中，芯源微有哪些始終秉持的理念，這些理念導(dǎo)致了怎樣的成長路徑？

宗潤福：半導(dǎo)體行業(yè)對設(shè)備的可靠性要求極高。自成立以來，芯源微始終堅持以技術(shù)創(chuàng)新為核心發(fā)展目標，以質(zhì)量保證為首要發(fā)展任務(wù)的經(jīng)營理念，為客戶創(chuàng)造價值，靠品質(zhì)創(chuàng)造品牌，質(zhì)量永遠放在第一位。可靠性對于中科院體系企業(yè)是至關(guān)重要的。中科院很多研發(fā)成果尚處于實驗室階段，并未經(jīng)歷中試和產(chǎn)業(yè)化，如何將成果變成產(chǎn)品、實現(xiàn)成果產(chǎn)業(yè)化及批量應(yīng)用，可靠性是關(guān)鍵。

2010年前后，有國產(chǎn)設(shè)備廠家在行業(yè)發(fā)展研討會上抱怨“客戶購買設(shè)備時給出的是國產(chǎn)設(shè)備的價格，但要求的卻是國際一流公司進口設(shè)備的性能，那怎么能保證呢？低價格就不得不犧牲技術(shù)指標或設(shè)備的可靠性”。

芯源微堪稱國內(nèi)半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)細分市場的“隱形冠軍”。

以手表舉例論證設(shè)備可靠性的重要性。1萬塊錢的手表不算貴，貴的手表比比皆是，100塊錢的手表也不算便宜，更便宜的也有很多，但是花100塊錢買的手表也必須要走時精準，不能走走停停耽誤事兒。要想發(fā)展國產(chǎn)設(shè)備，就必須要成熟、可靠、用得住，要為客戶創(chuàng)造價值，功能不一定要多么復(fù)雜，指標不一定要多么先進，但一定要可靠。

如果芯源微產(chǎn)品質(zhì)量不可靠，這500臺設(shè)備在客戶現(xiàn)場，假設(shè)每臺設(shè)備每年發(fā)生一次事故，也就意味著在客戶端，芯源微的設(shè)備每天都會出現(xiàn)問題，那么我們就疲于奔命，出廠設(shè)備越多，我們就會越累，客戶體驗就會越差，所以一定要保證可靠性，如果設(shè)備的Up time低于85%，那么設(shè)備就是不可用的。可靠性永遠放在第一位，這是芯源微始終秉承的理念。盡管一直在降成本，提高競爭力，但是芯源微產(chǎn)品的核心部件可靠性及工藝指標必須保證，不會因為成本下降而降低產(chǎn)品的質(zhì)量及可靠性。產(chǎn)品的質(zhì)量首先是通過研發(fā)、設(shè)計、驗證、制造出來的，不是通過質(zhì)量檢驗檢測出來的，更不是通過售后服務(wù)把問題解決的，一定要遵循質(zhì)量管理體系，實現(xiàn)過程控制把關(guān)，從源頭實現(xiàn)對產(chǎn)品質(zhì)量的有效把控。憑借這種理念，芯源微的產(chǎn)品贏得了客戶的廣泛認可，設(shè)備銷量持續(xù)增長，始終保持健康發(fā)展的趨勢，芯源微的設(shè)備也為客戶創(chuàng)造了價值。

截至目前，芯源微設(shè)備累計銷售800余臺套，作為主流機型成功打入包括臺積電、長電科技、華天科技、通富微電、晶方科技、華燦光電、乾照光電、澳洋順昌、東莞中圖等在內(nèi)的多家國內(nèi)知名一線大廠，堪稱國內(nèi)半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)細分市場的“隱形冠軍”。

本刊記者：在具體產(chǎn)品和業(yè)務(wù)上，芯源微的主營業(yè)務(wù)有哪些？在業(yè)務(wù)的布局和拓展上有何變化？過去，有哪些關(guān)鍵性的事件和時間節(jié)點？

宗潤福：芯源微自成立以來一直從事半導(dǎo)體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，公司主營業(yè)務(wù)、主要經(jīng)營模式等均未發(fā)生重大變化。芯源微主營產(chǎn)品包括光刻工序涂膠顯影設(shè)備（涂膠/顯影機、噴膠機）和單片式濕法設(shè)備（清洗機、去膠機、濕法刻蝕機），產(chǎn)品可用于6英寸及以下單晶圓處理（如LED芯片制造環(huán)節(jié)）及8/12英寸單晶圓處理（如集成電路制造前道晶圓加工及后道先進封裝環(huán)節(jié)）。

公司主要產(chǎn)品演變和技術(shù)發(fā)展情況如下：

2002年，公司前身沈陽芯源先進半導(dǎo)體技術(shù)有限公司設(shè)立。

2004年，公司首臺小尺寸涂膠顯影設(shè)備出廠，并銷售至中國電子科技集團公司第十三研究所。

2005年，公司成功突破包括高粘厚膠膜涂覆技術(shù)、漸進式烘烤技術(shù)、膠絲控制技術(shù)等關(guān)鍵技術(shù)，自主研發(fā)生產(chǎn)的8英寸先進封裝領(lǐng)域用涂膠設(shè)備產(chǎn)品成功銷售至江陰長電先進封裝有限公司，開辟了8英寸先進封裝凸點工藝國產(chǎn)化新領(lǐng)域。

2007年，公司自主研發(fā)生產(chǎn)的12英寸先進封裝涂膠/顯影設(shè)備產(chǎn)品成功銷售至江陰長電先進封裝有限公司，并榮獲“2007年中國半導(dǎo)體協(xié)會創(chuàng)新產(chǎn)品和技術(shù)獎”，實現(xiàn)了國產(chǎn)IC裝備在晶圓尺寸和新工藝應(yīng)用上的突破。

2008年，公司承擔(dān)的國家“十一五”國家科技重大專項《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》“凸點封裝涂膠顯影、單片濕法刻蝕設(shè)備的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項目獲得立項批復(fù)，項目執(zhí)行期2009-2012年，項目執(zhí)行期內(nèi)公司成功突破凸點封裝工藝相關(guān)的超厚光刻膠膜的涂覆、顯影、單片濕法多工藝藥液同腔分層刻蝕等多項核心關(guān)鍵技術(shù)。

2011年，公司抓住國內(nèi)LED產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展的機遇，推出LED芯片制造領(lǐng)域用涂膠/顯影機等半導(dǎo)體專用設(shè)備，憑借產(chǎn)品在省膠、高產(chǎn)能等方面的良好性能批量銷售至三安光電、華燦光電等國內(nèi)一線大廠。

2012年，公司承擔(dān)的國家“十二五”國家科技重大專項《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》“300mm晶圓勻膠顯影設(shè)備研發(fā)”項目獲得立項批復(fù)，項目執(zhí)行期為2012-2015年，項目執(zhí)行期內(nèi)公司成功突破集成電路前道晶圓加工領(lǐng)域光刻工藝超薄膠膜均勻涂敷、精細化顯影、精密溫控?zé)崽幚淼榷囗椇诵年P(guān)鍵技術(shù)。

2013年，公司自主研發(fā)的先進封裝領(lǐng)域用噴霧式涂膠設(shè)備成功打入臺灣市場，批量銷售至全球最大的晶圓代工企業(yè)臺積電子公司臺灣精材，用于iPhone手機指紋識別器件的生產(chǎn)。

2016年，公司生產(chǎn)的先進封裝領(lǐng)域用涂膠/顯影設(shè)備批量銷售至臺積電，用于iPhone7手機A10處理器的生產(chǎn)；同年，公司主持制定的行業(yè)標準《噴霧式涂覆設(shè)備通用規(guī)范》（SJ/T11576-2016）正式頒布實施。

2018年，公司自主研發(fā)的首臺國產(chǎn)高產(chǎn)能前道涂膠設(shè)備“奉天一號”出廠并在上海華力微電子有限公司（簡稱“上海華力”）進行設(shè)備工藝驗證，正式進軍市場空間更加廣闊的集成電路制造前道晶圓加工環(huán)節(jié)用涂膠顯影設(shè)備領(lǐng)域。目前，上海華力機臺已通過工藝驗證并成功實現(xiàn)銷售。

2019年，公司自主研發(fā)的集成電路制造前道晶圓加工環(huán)節(jié)用單片式清洗設(shè)備出廠，并在中芯國際集成電路制造（上海）有限公司、上海華力等多個客戶處通過工藝驗證，截至目前已獲得國內(nèi)多家晶圓廠商的重復(fù)訂單。

體系賦能

皇家園林內(nèi)的野生動物

本刊記者：芯源微起源于中國科學(xué)院沈陽自動化研究所，在成長過程中，與中科院有哪些聯(lián)系？在投后賦能方面，中科院體系給芯源微提供了哪些幫助？

宗潤福：芯源微脫胎于中科院系統(tǒng)，中科院賦予芯源微最寶貴的財富是中科院踏實嚴謹?shù)墓ぷ髯黠L(fēng)、國家隊的地位及賦予的信心，以及長期積累的資源及社會影響力，這些無形資產(chǎn)對芯源微的發(fā)展和融資提供了巨大的幫助。

芯源微的發(fā)展過程中，國家科技重大專項的支持至關(guān)重要，不僅僅是資金的支持，也包括進入國家隊的資源、影響和地位；不僅僅在于成果產(chǎn)業(yè)化帶來的收益，也包括承擔(dān)和完成國家科技重大專項過程中形成的一些國內(nèi)外資源。

回顧過去18載春秋，不僅是芯源微成長的縮影，也是中國芯片行業(yè)發(fā)展的歷史軌跡。

公司發(fā)展較快階段，流動資金不足，幾乎是依靠短期貸款解決企業(yè)長期的資金周轉(zhuǎn)不足。如遇特殊情況貸款不能如期歸還，就需要申請短期貸款展期，但前提必須先將原貸款如數(shù)歸還，然后再重新放貸。沈自所下屬企業(yè)在充分評估企業(yè)周轉(zhuǎn)能力及經(jīng)營風(fēng)險的情況下可以提供短期拆借，解決過橋資金短缺問題。背靠沈自所這棵大樹，銀行貸款審批高看一眼，同時也可提供部分無抵押信用貸款支持，中科院系統(tǒng)的影響力等無形資產(chǎn)確實發(fā)揮了極大的作用。

當(dāng)芯源微在LED和圓片級封裝領(lǐng)域站穩(wěn)腳跟，形成了產(chǎn)品優(yōu)勢和穩(wěn)定的客戶群，具備一定的造血能力之后，擁有中科院背景的中國科技產(chǎn)業(yè)投資管理有限公司（簡稱“國科投資”）風(fēng)險投資成功注入，促進了芯源微進一步發(fā)展和提高。

國科投資董事長孫華與芯源微相識多年，相互之間有充分的了解和信任，從而順利完成投資。投資賦能方面，國科投資成功入股不僅僅解決了芯源微資金需求，同時國科投資的管理、見識、資源等對芯源微的發(fā)展也起到了很好的推動作用，包括面臨誘惑時的規(guī)避作用。比如發(fā)展過程中面臨新三板掛牌的選擇，新三板是國家倡導(dǎo)的，各級政府大力推動的，芯源微也十分符合新三板的要求，但國科投資提出明確反對意見，現(xiàn)在回頭發(fā)現(xiàn)，當(dāng)初如果登陸新三板，再要轉(zhuǎn)板退市，無形中增加了很多困難，國科投資當(dāng)初的建議是十分具有先見之明的。

本刊記者：目前正在緊張籌備的“中科院科技創(chuàng)新投資產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟（簡稱‘中科院科創(chuàng)投資聯(lián)盟’）”中，芯源微將扮演怎樣的角色？中科院科創(chuàng)投資聯(lián)盟對于芯源微會有怎樣的影響和作用？

宗潤福：中科院科創(chuàng)投資聯(lián)盟由研究所、轉(zhuǎn)制企業(yè)、所辦企業(yè)及投資機構(gòu)等組成，就猶如皇家園林動物、圈養(yǎng)動物、放養(yǎng)動物與野生動物的區(qū)別。芯源微介于放養(yǎng)動物與野生動物之間。

在充分的市場競爭中，芯源微一方面受益于中科院系統(tǒng)人才及成果的支持，另一方面，也深刻感受到中科院本身的局限性和弱點，包括發(fā)展節(jié)奏、狼性及胸懷等。在胸懷方面，科學(xué)院很多專家辛辛苦苦十幾年甚至幾十年的研發(fā)成果，希望牢牢掌握在自己手中，自行轉(zhuǎn)化，不利用社會資源，僅憑借一己之力很難將產(chǎn)業(yè)做大，致使很多成果得不到充分社會化；另外，部分成果并未經(jīng)歷中試階段，確實并未完全成熟。

身在中科院系統(tǒng)的象牙塔中，可能很難意識到自身的一些局限性，芯源微雖然脫胎于中科院系統(tǒng)，但在充分經(jīng)歷市場競爭的洗禮與磨煉之后，芯源微整體的節(jié)奏和狼性也有了很大的提升，生命力更加頑強，相信芯源微的加入勢必會對中科院科創(chuàng)投資聯(lián)盟體系起到一些沖擊和補充的作用。

回望過去的18年，芯源微的發(fā)展一方面立足于自主研發(fā)，另一方面也充分借鑒國際先進技術(shù)，聘請來自日本、韓國、美國的技術(shù)顧問及全職專家，借助外腦，少走彎路，快出成果。但是芯源微終究是一個小企業(yè)，視野、平臺、資源等都具有很大的局限性。雖然芯源微經(jīng)歷數(shù)年的研發(fā)及技術(shù)積累，產(chǎn)品的總體技術(shù)水平有了很大的提升，但與國際前沿技術(shù)仍有很大差距，在半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化的過程中勢必會遇到技術(shù)上的挑戰(zhàn)及國際大公司的打壓。芯源微想要持續(xù)發(fā)展，就必須持續(xù)投入研發(fā)，但是芯源微的資源、資本是有限的，聯(lián)盟的成立對于芯源微的綜合技術(shù)能力的提高、資源的擴充、產(chǎn)學(xué)研用深度合作以及創(chuàng)新鏈、產(chǎn)業(yè)鏈、資本鏈融合方面，一定會發(fā)揮重要的促進作用。同時中科院具有多學(xué)科的專業(yè)優(yōu)勢，芯源微的產(chǎn)品是光機電、流體力學(xué)、材料學(xué)、化學(xué)等多學(xué)科綜合應(yīng)用的高精尖一體化設(shè)備，希望能充分借助聯(lián)盟成員在各個領(lǐng)域的專業(yè)優(yōu)勢，對芯源微產(chǎn)品性能提升、核心部件研發(fā)、前沿工藝攻關(guān)等方面起到積極的促進和提升作用。

芯源微衷心希望中科院科創(chuàng)投資聯(lián)盟能在加強產(chǎn)業(yè)上下游合作等方面發(fā)揮實質(zhì)性作用，希望聯(lián)盟間企業(yè)能緊密合作，相互促進，使聯(lián)盟具有強大的生命力及內(nèi)生動力。