藍動精密成數千萬A+輪融資，弘暉基金、毅達資本聯合領投

近日，深圳藍動精密有限公司（以下簡稱“藍動精密”）完成數千萬人民幣的A+輪融資。本輪融由弘暉基金和毅達資本聯合領投，將進一步推動公司半導體設備真空氣路系統核心零部件國產化研發的進程。

藍動精密成立于2023年，公司致力于為半導體行業提供具有自主知識產權的國產化關鍵零部件。

自成立以來，藍動精密通過打造世界一流的集成電路裝備研發中心、規模化先進工藝制造中心，迅速、高效的銷售應用服務網絡，逐步建立平臺化、系列化、高可靠性的產品矩陣，形成覆蓋全鏈路的產品版圖，加速發展成為集成電路產業未來新引擎。

藍動精密在氣體傳輸系統設備等關鍵領域實現技術突破，已擁有近30項知識產權，是少數在半導體領域實現批量供應質量流量控制器（MFC）、晶圓背氣壓力控制器（UPC）的國產供應商，產品性能對標國際一線半導體零部件廠商，為國內半導體設備供應鏈提供了有力的保障。

MFC廣泛應用于半導體工藝，如物理氣相沉積、化學氣相沉積、原子層沉積、刻蝕、離子注入、外延、快速熱處理等，用于快速精確控制上述過程中使用的氣體流量。

UPC是半導體工藝設備的關鍵組件，主要用于晶圓背氣壓力控制，從而實現卡盤到晶圓的穩定熱交換，使得晶圓在工藝過程中維持良好的溫度均勻性及穩定性，涉及工藝主要為刻蝕、離子注入、薄膜沉積等。