藍(lán)動(dòng)精密成數(shù)千萬(wàn)A+輪融資，弘暉基金、毅達(dá)資本聯(lián)合領(lǐng)投

近日，深圳藍(lán)動(dòng)精密有限公司（以下簡(jiǎn)稱“藍(lán)動(dòng)精密”）完成數(shù)千萬(wàn)人民幣的A+輪融資。本輪融由弘暉基金和毅達(dá)資本聯(lián)合領(lǐng)投，將進(jìn)一步推動(dòng)公司半導(dǎo)體設(shè)備真空氣路系統(tǒng)核心零部件國(guó)產(chǎn)化研發(fā)的進(jìn)程。

藍(lán)動(dòng)精密成立于2023年，公司致力于為半導(dǎo)體行業(yè)提供具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的國(guó)產(chǎn)化關(guān)鍵零部件。

自成立以來(lái)，藍(lán)動(dòng)精密通過(guò)打造世界一流的集成電路裝備研發(fā)中心、規(guī)模化先進(jìn)工藝制造中心，迅速、高效的銷售應(yīng)用服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，逐步建立平臺(tái)化、系列化、高可靠性的產(chǎn)品矩陣，形成覆蓋全鏈路的產(chǎn)品版圖，加速發(fā)展成為集成電路產(chǎn)業(yè)未來(lái)新引擎。

藍(lán)動(dòng)精密在氣體傳輸系統(tǒng)設(shè)備等關(guān)鍵領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)技術(shù)突破，已擁有近30項(xiàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)，是少數(shù)在半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)批量供應(yīng)質(zhì)量流量控制器（MFC）、晶圓背氣壓力控制器（UPC）的國(guó)產(chǎn)供應(yīng)商，產(chǎn)品性能對(duì)標(biāo)國(guó)際一線半導(dǎo)體零部件廠商，為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)鏈提供了有力的保障。

MFC廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝，如物理氣相沉積、化學(xué)氣相沉積、原子層沉積、刻蝕、離子注入、外延、快速熱處理等，用于快速精確控制上述過(guò)程中使用的氣體流量。

UPC是半導(dǎo)體工藝設(shè)備的關(guān)鍵組件，主要用于晶圓背氣壓力控制，從而實(shí)現(xiàn)卡盤到晶圓的穩(wěn)定熱交換，使得晶圓在工藝過(guò)程中維持良好的溫度均勻性及穩(wěn)定性，涉及工藝主要為刻蝕、離子注入、薄膜沉積等。